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本发明公开一种激光加工过程中工件缺陷实时检测方法,将加工工件置于工作台上;将激光光束对准加工工件的待加工点;并将检测组件采用半环绕或环绕的形式围绕待加工点布置;待加工点在加工过程中产生热量积累,引起加工工件的热膨胀行为,从而挤压周围空气产生振动,进而通过检测组件对振动信号进行检测。本申请从激光加工过程出发,实现加工过程的实时监测,无需等待加工结束进行缺陷检测,有效避免了时间成本的浪费;也无需引入检测信号源,成功简化了检测过程。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115932044A
(43)申请公布日2023.04.07
(21)申请号202211655709.6
(22)申请日2022.12.22
(71)申请人江苏先进光源技术研究院有限公司
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