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本申请涉及一种晶圆搬运装置承载机构，包括承载座及若干承载臂，第一固定块、第二固定块以及固定柱对晶圆片形成六个点的支撑，使得晶圆片不容易破损。其中第一固定块踢面的圆弧面刚好与晶圆片的边缘相抵靠，第二固定块以及固定柱均是以斜面的方式抵靠晶圆片，斜面使得晶圆片自然有下滑的趋势，使得晶圆片更容易抵靠在第一固定块上，具有自动校正位置的作用，提高了不同承载臂上的晶圆片的整齐度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220509989U
(45)授权公告日2024.02.20
(21)申请号202321374246.6
(22)申请日2023.05.31
(73)专利权人江苏亚电科技股份有限公司
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