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本发明涉及声波通信技术领域，公开一种抑制声波横向模式的谐振器及其制作方法。谐振器包括两个相对的汇流条和分别与二者交错连接的叉指电极；沿每一侧叉指电极的末端轨迹溅射绝缘负载层，并在相邻两旁的叉指电极穿过的绝缘负载层处刻蚀开窗；又在绝缘负载层上制作短路栅；每一侧的汇流条、叉指电极和短路栅均形成闭合回路，短路栅和叉指电极的重叠区域由绝缘负载层隔离，便于工艺实现，避免造成短路，能增加声速调节的自由度。叉指电极末端、汇流条以及短路栅共同形成等电位结构，抑制横向模激发；同时由于增加绝缘负载层和短路栅，在叉指
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117579028A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311697882.7
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人天通瑞宏科技有限
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