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在向电极施加高频信号而进行光调制的波导路型光调制元件中,提高电极的设计自由度而能实现进一步的宽带化。光调制元件(10)具备设置于基板(100)的光波导(104等)和控制在该光波导中传播的光波的电极(108等),使高频信号向该电极传播而进行光调制,其中,所述电极包括:导电层(108a等),由铜(Cu)或铜合金构成;及保护层(108b等),由除了铜及铜合金以外的材料构成。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110573941A
(43)申请公布日
2019.12.13
(21)申请号20188
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