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本发明涉及太阳能电池板生产辅助工具,尤其涉及具有离线真空度保持功能的载板,属于工业自动化领域。本发明所述的具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体,在载板本体内设置有真空腔,在载板本体上设置有真空发生装置,该真空发生装置用于使真空腔形成真空,从而通过吸附孔吸附载板本体上的物料。该方案中真空发生装置设置于载板本体上,使得载板本体具有离线真空保持的功能,即,载板本体可以在各工序之间流转,并且,在各工序之间流转时仍可以保持真空吸附功能,相对于现有技术,该方案可以有效地保证载板本体在各工序流转时的吸附
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109994396A
(43)申请公布日
2019.07.09
(21)申请号20191
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