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本发明涉及一种金属薄膜陶瓷基板加工用溅射镀膜设备及方法；涉及溅射镀膜技术领域，该金属薄膜陶瓷基板加工用溅射镀膜设备包括固定在机架体上方的双带输送机，在双带输送机的一端设置有陶瓷基板上料组件，双带输送机的另一端设置有基板转接组件，在基板转接组件的下方设有基板推送组件；随着接板转轮的不断旋转，基板由水平状态转化成竖直状态，基板的底部卡接在接板转轮和活动臂形成的夹角中，当活动臂旋转至辅助轮处的时候，在辅助轮的挤压下，活动臂的内侧面与基板承载平面平行，此时基板瞬间垂直掉落至托板上，负压吸盘对基板进行吸附
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117568757A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311261524.1
(22)申请日2023.09.27
(71)申请人江苏信核芯微电子
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