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一种晶圆自动插片装置.pdfVIP

一种晶圆自动插片装置.pdf

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    本实用新型提供了一种晶圆自动插片装置，包括设备平台，设备平台的两侧设有晶圆盒运输轨道，两晶圆盒运输轨道之间转台机构、吸放片机构、晶圆传输机构、晶圆盒取放机构，转台机构上设有叠放晶圆的若干叠片治具，吸放片机构上设有吸取晶圆的吸盘，用于将叠片治具叠设的晶圆由上自下依次转移至晶圆传输机构，晶圆传输机构一端设有晶圆盒，晶圆传输机构用于将晶圆运输至晶圆盒内，完成晶圆的插片，晶圆盒取放机构上设有夹爪，用于将晶圆盒夹持到晶圆盒运输轨道上。本实用新型提供的晶圆自动插片装置通过多个机械臂和叠片治具的配合，大大的提

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220509994U

    (45)授权公告日2024.02.20

    (21)申请号202322166009.7

    (22)申请日2023.08.11

    (73)专利权人江西兆驰半导体有限公司

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