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本发明属于搬运机械手技术的领域，本发明公开了基于机器学习的晶圆搬运机械手自动控制方法及系统，采集待搬运晶圆的晶圆图像，对晶圆图像进行预处理，提取预处理后的晶圆图像的轮廓，将提取到的晶圆图像的轮廓添加到预处理后的晶圆图像中，将得到的晶圆图像标记为边界晶圆图像，计算经过边界晶圆图像圆心的分界线两侧所有像素块像素值之和差值的绝对值，并标记为差异像素值，差异像素值判定晶圆是否为均匀质量分布晶圆或非均匀质量分布晶圆，根据均匀质量分布晶圆和非均匀质量分布晶圆选择机械手吸附区域，从而降低因晶圆质心偏离几何中心
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117565062A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202410060511.6
(22)申请日2024.01.16
(71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司
地
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