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本发明公开了一种硅片切割液中硅粉和切割液的回收方法,涉及硅生产技术领域,包括:对硅片切割废液进行粗过滤形成原液,并将其输送至原液罐;将原液罐中的切割废液输送至压滤机组件处进行过滤,形成压滤清液,并输送至清液调配罐;向清液调配罐中添加切割液或水,形成切割液供后续切割使用;将压滤组件中硅粉堆积形成的滤饼进行剥离并收集。本发明通过板框分离工艺,有效地对切割液中的硅粉和切割液进行分离,且脱离硅粉后的切割液采用脱盐系统降低切割液的盐含量,使其可作为成品液,供下次切割使用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117563323A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311851904.0
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人江苏美科太阳能科技股份有限公司
地
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