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考试《光学修正工艺介绍》[复制]

满分100分，90分及格。

一、选择题：

基本信息：[矩阵文本题]*

姓名：

________________________

部门：

________________________

员工编号:

________________________

1、下列选项中不需要在OPC开发阶段参与的模块是（）[单选题]*

A、PIE

B、ETCH

C、QE(正确答案)

2、下列选项中不属于OPC做的RET(分辨率增强技术)是（）[单选题]*

A、AF

B、DPT

C、PSMmask(正确答案)

3、下列选项中哪一项需要在建模的过程中最先完成（）[单选题]