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2024-02-24 发布于四川
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一种卧式热丝CVD设备.pdf

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本发明涉及一种卧式热丝CVD设备，它包括：反应腔室、间隔设置在所述反应腔室内的载板、矩阵排列在所述载板上的硅片、固定在所述反应腔室内侧壁上的热丝架、固定在所述热丝架上的保护套、可调节地设置在所述保护套内的电极夹头、固定在所述电极夹头之间的热丝以及设置在所述反应腔室内的匀气管道，所述热丝与载板交替设置。本发明卧式热丝CVD设备结构简单，在反应腔室内设置水平的载板，硅片放置在载板的硅片槽内，方便硅片的上下料，通过热丝夹将热丝水平分段张紧在反应腔室内，可以避免热丝由于自重而出现下垂，然后通过热丝对工艺

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115354301A

(43)申请公布日2022.11.18

(21)申请号202211031276.7

(22)申请日2022.08.26

(71)申请人苏州帕萨电子装备有限公司

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