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本发明公开了一种新型石英坩埚，包括用于CZ法长晶的石英坩埚锅体和位于锅体内的用于长晶的硅熔汤，所述锅体内放置有晶种棒；所述锅体包括锅底和锅底上的锅壁，所述锅壁围绕锅底设置且与锅底一体成型，所述锅壁呈上小下大的圆套状设置。通过在锅底上一体成型设置上小下大的圆套状的锅壁且锅壁截面与垂直方向之间的夹角为15°，使得硅熔汤与石英坩埚内倾斜壁摩擦，增加石英坩埚的熔解速率，从而使得硅熔汤内微量氧Oi浓度增加，最终使晶种棒中氧含量增加，增加了硅片机械强度，产品品质提升明显，经济效益显著。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117587498A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311698529.0
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人上海合晶硅材料股份有限公司
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