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本实用新型公开了一种浮子流量计辅助调压机构，包括工艺腔以及SCRUBBER尾气柜，所述工艺腔的一侧安装有质量流量计，所述质量流量计的一端固定安装有进气管，所述进气管的内部通入工艺气体，所述SCRUBBER尾气柜和工艺腔之间设置有PUMP泵，所述PUMP泵的进气口和出气口分别通过导管与所述SCRUBBER尾气柜和工艺腔相连通，所述PUMP泵的一侧设置有绝对压力控制器，所述绝对压力控制器的一侧设置有浮子流量计，所述浮子流量计的下方设置有过滤器，所述过滤器的下方固定安装有减压阀。本实用新型通过补气气路
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220523896U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202321976227.0
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人青岛精诚华旗微电子设备有限公
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