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本发明提供了一种能量存储电容器及其制备方法，所述能量存储电容器包括从下而上依次层叠设置的衬底、绝缘层、底层电极、界面层、反铁电层和顶层电极；所述界面层为氧化锆铪薄膜，所述氧化锆铪薄膜的组成材料的结构通式为HfxZr1‑xO2，且所述x满足：0.5≤x≤0.9；所述反铁电层为掺杂有掺杂元素的氧化锆薄膜。本发明可以减小电容器的泄漏电流，增大击穿场强，而且电容器的储能密度和储能效率都得以同时提升，并延长反铁电层在电容器反复充放电过程中的使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117597019A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311823682.1
(22)申请日2023.12.27
(71)申请人嘉善复旦研究院
地址31410
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