原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及集成电路行业半导体专用温控设备技术领域，尤其涉及一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置及方法，流量控制装置包括至少两条并联设置的循环管路，循环管路包括进液管线和回液管线；进液管线和回液管线分别连通半导体温控装置和主设备，进液管线上串接有电动调节阀和流量计，电动调节阀和流量计电连接控制器，控制器用于接收流量计测得的流量信号，并与主设备的需求流量值对比，然后控制电动调节阀进行流量调节，精准地控制半导体温控装置出口的分支流量，各支路流量可自行调节，各支路互不影响，实现了自动化调节代替人工手
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117590875A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311313473.2
(22)申请日2023.10.11
(71)申请人安徽京仪自动化装备技术有限公司
地
文档评论（0）