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本发明公开一种光学材料折射率测量方法,沿光路方向依次为干涉测量装置,待测光学材料及其装载装置,反射镜及其装载装置。其中,干涉测量装置出射平行光并能通过波长调制技术解析多面干涉条纹的相位信息,再通过zernike拟合的方式求解出相位信息中的倾斜分量(Z2和Z3项)。在简单的光路对准后,即可根据测得的倾斜量,代入公式求解折射率。本发明无需制备棱镜或样片而直接对待测材料进行整体测量,同时无运动机构,也无原理性误差,不需人工判断。与传统测量方法相比结构简单,操作便利,原理清晰,能直接测量且精度较高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589717A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311398213.X
(22)申请日2023.10.26
(71)申请人上海现代先进超精密制造中心有限
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