在位精密检测微光学元件结构面型的方法及装置.pdfVIP

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2024-02-24 发布于四川
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在位精密检测微光学元件结构面型的方法及装置.pdf

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本发明提供一种在位精密检测微光学元件结构面型的方法，包括：将白光干涉仪放置于机床的第一旋转轴上，将工件放置于机床的第二旋转轴上；调整白光干涉仪镜头光轴与机床第二旋转轴中心重合；对工件进行加工，保持工件在第二旋转轴上的位置不发生变化；白光干涉仪响应于机床发送的触发信号，按照规划的移动路径对加工后工件的结构面型进行多次拍摄；结构面型包括平缓结构和陡峭结构。还提供了一种在位精密检测微光学元件结构面型装置，包括：机床，白光干涉仪，拼接路径规划及控制系统和图形拼接合成软件。本发明可以实现对微光学元件进行在

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117589083A

(43)申请公布日2024.02.23

(21)申请号202311534679.8

(22)申请日2023.11.17

(71)申请人中国科学院重庆绿色智能技术研究

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