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本发明公开了一种晶体管结构的薄膜热流计、制备方法及测量方法,所述薄膜热流计的晶体管结构包括第一电极,热阻层,热电材料有源层,第二电极,绝缘层和第三电极;所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极分别作为所述晶体管结构的引线端;所述第一电极上覆盖有所述热阻层,所述第一电极和所述第二电极是与所述热电材料有源层两端欧姆接触的金属导电层;工作时,所述热阻层和所述第二电极均与外部的被测表面直接接触;所述第三电极与所述热电材料有源层之间设有所述绝缘层;其效果是:相比于现有的热电堆型热流计,本发明以单个热电薄膜
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589337A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311386778.6
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人北京航空航天大学
地址1000
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