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非晶碳化硅及非晶碳氮化硅减反膜性能研究.pdf

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    摘要

    中文摘要

    非晶碳化硅及非晶碳氮化硅减反膜性能研究

    作者：沙波

    指导教师：KLIUIMYKOLA教授

    专业：凝聚态物理

    硅是现代微电子学的基础材料。例如，它被广泛用于生产红外光学元件。然而，硅的

    最大应用领域是半导体太阳能发电工程，它被

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