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本实用新型涉及光刻机配件技术领域，具体地说，涉及一种光刻机的可调节吸盘，包括竖直管和设置在竖直管端部的真空吸盘，竖直管上设置有支撑座，支撑座包括U形固定座，U形固定座固定安装在外界架体上，U形固定座的前后两侧板体上均设置有竖直滑孔，U形固定座的顶部板体上设置有水平孔，竖直管穿过水平孔并与水平孔之间滑动连接，竖直管上固定安装有前后两个相互对称的螺柱，螺柱穿过竖直滑孔并与竖直滑孔之间滑动连接，螺柱上螺纹连接有抵在U形固定座上的螺母，真空吸盘上固定安装有竖直螺纹管，竖直螺纹管与竖直管之间螺纹连接。本实
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220526183U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322125586.1
(22)申请日2023.08.08
(73)专利权人郑州雷神光电技术研究院有限公
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