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本发明提供了一种半导体材料制备设备，涉及半导体材料制造技术，包括设备框架，设备框架包括外框架，外框架内旋转安装有制备机构,制备机构包括制备支架,制备支架上层纵向滑动安装有多个制备推杆,制备推杆上固定安装有盖筒,盖筒底部旋转安装有闭合圈,闭合圈上固定安装有齿轮，制备支架底部横向旋转安装有多个坩埚支撑杆,坩埚支撑杆上固定安装有制备坩埚,本发明的制备机构可以根据不同方式制造半导体材料，便于根据需要制造应用于不同场合的半导体材料；本发明的制备坩埚底部设有气管，通过气管的通气可以防止半导体材料粘连在制备坩
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117587494A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311666727.9C30B15/10(2006.01)
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