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确定局部化图像预测误差以改进预测图像的机器学习模型.pdfVIP

确定局部化图像预测误差以改进预测图像的机器学习模型.pdf

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    所描述的是用于标识由模拟模型(例如，机器学习模型)预测的图像中的误差聚类，并且通过将误差聚类信息反馈给模拟模型来进一步训练或调整模拟模型以改进具有误差聚类的图像的区域中的预测的实施例。此外，公开了用于基于误差聚类中的误差的严重性对预测图像或生成那些预测图像的模拟模型进行评分的实施例。该得分可用于评估模拟模型，以选择用于生成预测图像的特定模拟模型，该预测图像可用于制造掩模以在衬底上印刷期望的图案。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117597627A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202280047878.3(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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