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药液供应装置及利用其的基板清洗装置.pdfVIP

药液供应装置及利用其的基板清洗装置.pdf

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    一种药液供应装置及利用其的基板清洗装置，药液供应装置包括：补给配管、补给阀、排液配管、排液阀、药液灌、供应配管、供应阀、支管、灌排液配管、灌排液阀、控制部，并执行如下步骤：第一预排液步骤，在开启所述补给阀和排液阀并关闭供应阀的状态下，通过补给配管来供应药液，而将停滞在补给配管内的药液和通过补给配管供应的药液通过排液配管排出既定的时间；第二预排液步骤，在完成所述第一预排液步骤的状态下，开启供应阀并通过补给配管来供应药液，从而所供应的药液的一部分排出到排液配管，一部分通过供应配管储存到药液灌；及药液

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117583292A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202310039024.7

    (22)申请日2023.01.12

    (30)优先权数据

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