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本发明涉及一种以非接触的方式移送晶圆的晶圆移送手部单元及晶圆移送装置，可以包括：手部主体，具有从主体部朝着长度方向较长地延伸的一对指臂，以能够支撑晶圆；悬浮模块，在所述一对指臂的支撑面上形成规定的空气流，以此向所述晶圆施加浮力，以使所述晶圆在所述手部主体的所述一对指臂上以规定的高度悬浮，从而能够使所述一对指臂以非接触的状态支撑所述晶圆；和控制部，向所述悬浮模块施加控制信号，以便控制通过所述悬浮模块喷射至所述一对指臂的所述支撑面的压缩空气的压力或流量、及所吸入的所述压缩空气的压力或流量，从而能够调
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117594512A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310748713.5
(22)申请日2023.06.21
(30)优先权数据
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