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本发明公开了一种多光束射流耦合水导激光加工装置及加工系统，属于激光加工技术领域，本发明的加工装置通过将多路激光束导入水柱，提高了激光束在水柱的耦合功率；通过光束耦合单元调控多路激光束的空间位置及角度，从而提高输出激光束的光斑均匀性，最终实现对工件的高功率、零锥度及大深度加工；本发明的加工系统具有系统可靠性高、加工深度大及维护成本低的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113634879A
(43)申请公布日2021.11.12
(21)申请号202110858341.2B23K26/70(2014.01)
(22)申请日2
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