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本发明公开了一种石英基板生产用石英耐辐照镀膜工艺，属于半导体镀膜技术领域。一种石英基板生产用石英耐辐照镀膜工艺，将石英基板放置至匀胶机的托盘结构上，将经过过滤处理的聚苯硫醚胶体加入自动滴胶器中，托盘带动基板低速旋转的同时自动滴胶器将聚苯硫醚胶体滴在基板表面的中心处。为解决利用多种不同的高分子材料之间的协同配合来实现抗老化，但整体工艺难度较大，且该抗老化性能是基于日常阳光照射下的抗辐照，无法直接应用于半导体的抗辐照的问题，将聚苯硫醚高分子材料以旋转覆涂的方式覆盖在石英基板的表面，通过聚苯硫醚本身所
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117600033A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311591706.5
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人安徽禾臣新材料有限公司
地址2
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