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一种静电吸盘及晶圆测试方法.pdfVIP

一种静电吸盘及晶圆测试方法.pdf

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    本发明提供一种静电吸盘及晶圆测试方法，静电吸盘包括用于承载待吸附物的基板；设置在基板的上方的绝缘层，其通过静电力吸附待吸附物；设置在基板和/或绝缘层中的导电部，其与待吸附物的背面的至少部分区域接触。晶圆测试方法采用上述静电吸盘吸附晶圆，并通过导电部导通真空吸盘和晶圆背面。本发明的静电吸盘可以放置在Taiko晶圆背面的凹陷区，使得Taiko晶圆的背面整体呈平面式，可以直接放置在传统测试机台的平面式的真空吸盘上进行测试。non‑Taiko晶圆的背面也可以放置与其尺寸相当的静电吸盘，不影响其在传统机台

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111613563A

    (43)申请公布日

    2020.09.01

    (21)申请号20191

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