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一种等离子体处理设备的自动退料方法.pdfVIP

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  • 2024-02-28 发布于四川
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一种等离子体处理设备的自动退料方法.pdf

    本发明公开了一种等离子体处理设备的自动退料方法，属于等离子体技术领域。本发明解决了因利用机械手移入和移出晶圆操作繁琐的问题，本发明还解决了因晶圆冷却后才能码放，增加码放等待时间，导致工作效率低的问题。本发明的方法包括承载开合机构携带完成等离子体反应的晶圆移动到出料口；承载开合机构与收料盒接触后进行张开操作，将晶圆推入收料盒；承载开合机构返回进料口，继续下一次运送操作。本发明实现了已完成等离子体反应的晶圆不需冷却，即可通过承载开合机构传送并推入收料盒进行存放，因无需等待冷却，不仅大大缩短单次传送和

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117612984A

    (43)申请公布日2024.02.27

    (21)申请号202311566382.X

    (22)申请日2023.11.22

    (71)申请人深圳市恒运昌真空技术有限公司

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