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2024-02-29 发布于四川
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一种新型循环升华设备.pdf

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本实用新型公开了一种新型循环升华设备，包括真空泵组、石英管、与石英管呈垂直设置的推料管道，石英管的管壁上设有管壁开口，推料管道的一端与管壁开口相连通，推料管道上依次设有控制阀门I、控制阀门II和控制阀门III，控制阀门I和控制阀门II之间形成低温换舟区，控制阀门II与控制阀门III之间形成高温升华区I，低温换舟区中设有推舟器；石英管的下端处依次设有控制阀门IV和控制阀门V，石英管上端设有可伸缩推料器，控制阀门IV的上方区域为高温升华区II；真空泵组分别通过真空管I、真空管II和真空管III与低温

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220530712U

(45)授权公告日2024.02.27

(21)申请号202322051669.0

(22)申请日2023.08.01

(73)专利权人固安鼎材科技有限公司

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