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TCCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法.pdfVIP

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  • 2024-03-05 发布于浙江
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TCCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法.pdf

    ICS13.020.40

    CCSE25

    CCGA

    中国工业气体工业协会团体标准

    T/CCGA90004—2023

    泛半导体用尾气处理设备分解

    移除效率的测试方法

    Protocolformeasuringdestructionorremovalefficiency(DRE)ofpoint-of-use

    abatementequipmentinpan-semiconductor

    2023-12-18发布2024-01-18实施

    中国工业气体工业协会发布

    T/CCGA90004—2023

    泛半导体用尾气处理设备

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