原创力文档- 12
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- 2024-03-02 发布于四川
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本实用新型公开了一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，涉及链式湿法刻蚀机的刻蚀滚轮技术领域，包括装置本体，所述装置本体包括滚轮轴承、滚轮齿、滚轮轴芯、药液槽和夹缝，本实用新型所提出的新型局部刻蚀滚轮，相邻滚轮齿之间间距较远，并且滚轮齿的上边缘超出药液槽液面10mm，这种设置使得滚轮齿之间的药液难以通过张力接触到硅片的背面,而滚轮齿中间的夹缝，设置宽度较小只有0.3mm，较小的夹缝宽度使得药液能够借助张力接触到硅片背面,这样带来的结果就是，在滚轮齿的位置处，硅片背面的介质薄膜有药液接触，可以被刻蚀，
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220553409U
(45)授权公告日2024.03.01
(21)申请号202322047488.0
(22)申请日2023.07.31
(73)专利权人安徽旭合新能源科技有限公司
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