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一种薄膜沉积方法、装置及存储介质.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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一种薄膜沉积方法、装置及存储介质.pdf

    本发明提供了一种薄膜沉积方法、装置及存储介质。所述薄膜沉积方法包括以下步骤：确定一次薄膜沉积反应的窗口时长；基于薄膜厚度均一性的目标值及所述窗口时长，进行所述反应源在所述窗口时长内的时长占比实验，以确定所述反应源在所述窗口时长内的目标时长占比；确定所述反应源在所述窗口时长内的第一注入时长；确定所述反应源在所述窗口时长内的第二注入时长；确定所述反应源的预流时间，并预流所述反应源和化学源；以及响应于到达所述预流时间，向工艺腔内通入所述第二注入时长的反应源，并向所述工艺腔内通入所述化学源，以进行薄膜沉

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117626233A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311361616.7H01L21/67(2006.01)

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