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- 2024-03-02 发布于四川
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本发明涉及涂层制备领域，公开了一种海洋环境下电子元器件耐腐蚀涂层的制备方法，包括以下步骤：S1：离子注入混合层：采用离子注入技术在制备元器件表面结合层，注入元素为Cu、Ni、Cr、Ag金属元素，通过采用离子注入Cu、Ni、Cr、Ag金属元素在电子元器件表面形成一层均匀且结合力强的混合层，以及高功率脉冲磁控溅射技术在基底上形成致密的薄膜可极大的提高涂层的结合强度与致密性，在此基础上，通过高功率磁控制备导电层以及高功率脉冲磁控溅射技术进行防腐蚀层沉积，以此方法制备的涂层结合力以及抗腐蚀能力强，且不受
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117626210A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311754691.X
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人龙口市比特真空技术有限公司
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