原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种薄膜应变式摩阻传感器，包括受力浮动单元、应力传递杆、应变十字架、绝缘介质膜层、温度补偿金属电路、惠斯通电路、金属焊盘、印制板和金属引线。本发明中，浮动单元、应力传递杆、十字架由机加成型，通过焊接、螺纹连接、粘接的方式互连，应变电路通过MEMS薄膜沉积、微纳图形光刻刻蚀等工艺制备；灵敏度高，对高温环境耐受性强；该结构设计的薄膜电路远离浮动单元，温度耐受性更强，且由MEMS工艺加工制备的微电路图形一致性更好，传感器的性能指标更高，且应变电路上集成了温度补偿电路，提升了传感器的耐温性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117629470A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311405032.5
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人北京遥测技术研究所
地址100
文档评论（0）