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一种半导体芯片同步检测机构.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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一种半导体芯片同步检测机构.pdf

    本发明涉及一种半导体芯片同步检测机构，半导体芯片同步检测机构包括：检测台、X运动平台以及Y运动平台。X运动平台用于放置待检测芯片，X运动平台滑动设置在检测台上，且X运动平台能够沿X方向运动。X运动平台的两侧均设置有Y运动平台，Y运动平台滑动设置在检测台上，且Y运动平台能够沿Y方向运动，其中X方向与Y方向垂直；Y运动平台上设置有检测相机，检测相机的镜头朝向X运动平台。本发明X运动平台上的待检测芯片的两侧的检测相机能够对待检测芯片的相对两侧进行检测，只需要X运动平台沿X方向运动一次，就能够完成待检测

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117629882A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202210959857.0

    (22)申请日2022.08.11

    (71)申请人湖南奥创普科技有

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