多光谱TDI图像传感器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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本发明提供一种多光谱TDI图像传感器及其制造方法,通过在半导体衬底的表面设置倾斜光栅,可以对入射光进行色散以使不同波长的入射光产生的主极大级次的衍射光进入不同的时间延迟积分传感器子阵列,通过时间延迟积分传感器子阵列对入射光产生的主极大级次的衍射光进行光电转换和处理,可以得到不同波长的入射光的光谱信息。由于倾斜光栅可以对任意波长的入射光进行色散,从而可以实现收集任意波长的入射光的光谱信息,进而实现几十上百甚至更多种光谱的检测。并且,倾斜光栅的制造工艺相较多个滤光元件的制造工艺较为简单,体积小,从而

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117637785A

(43)申请公布日2024.03.01

(21)申请号202311361427.X

(22)申请日2023.10.19

(71)申请人上海集成电路研发中心有限公司

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