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- 2024-03-02 发布于四川
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本发明公开了一种具有量子金属态的YBCO薄膜的制备方法，属于超导薄膜制备技术领域，具体为：对设备预热，退火腔与沉积腔的温度加热到800℃以上；预溅射10～30min；衬底置于沉积腔中，通入氩气，气压达10～20Pa时通入氧气，30Pa时开启溅射，双靶溅射电流为0.5A，转动衬底，以0.5～0.6nm/min速率生长5min，退火腔降温到700℃以下停止通入氧气，退火30min，得到2.5～3nm厚的超薄YBCO薄膜，置于6T以上的恒定磁场中，降温至2K以下，获得具有量子金属态的YBCO薄膜。本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117626202A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311657160.9
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人电子科技大学
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