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本发明涉及一种大口径光斑形貌拼接的测量装置及方法,该装置包括:分光镜:设于待测激光器之后,用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路,为第一光束和第二光束,分别用于光束稳定性测量和光斑形貌采集;光束稳定性监测模块:该模块包括依次设于分光镜之后的聚焦透镜、第一快门、第一衰减片和第一CCD,用于通过监测第一光束的稳定性情况,计算相对光束基准位置偏移量;光斑形貌采集模块:该模块包括依次设于分光镜之后的第二衰减片、第二快门、第二CCD和二维电机,用于基于偏移量逐个采集第二光束的ROI图像并进行拼接,得到全
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117629586A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311554211.5
(22)申请日2023.11.21
(71)申请人同济大学
地址200092
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