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一种193nm光刻胶用丙烯酸酯树脂单体的制备方法.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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一种193nm光刻胶用丙烯酸酯树脂单体的制备方法.pdf

    本发明涉及一种193nm光刻胶用丙烯酸酯树脂单体的制备方法，其包括以丙烯酸酐和相应的醇为反应原料，以丙烯酸为反应溶剂，加入阻聚剂，反应溶剂丙烯酸与醇缩合生成丙烯酸酯，丙烯酸酐经过酯化作用变成丙烯酸酯和丙烯酸，生成的丙烯酸补充丙烯酸的消耗，提高反应物料的浓度，持续促进丙烯酸酯的合成反应朝向正反应方向进行；反应完成后，经过耦合两相溶剂重结晶的方法，纯化得到丙烯酸酯产品。本发明提出了的193nm光刻胶用丙烯酸酯树脂单体的制备方法，反应过程操作简单，安全，环保，无液体废弃物，反应后易于纯化，制备的丙烯酸

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117623918A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311365317.0C08F20/28(2006.01)

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