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一种半导体生产用晶圆智能生产设备.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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一种半导体生产用晶圆智能生产设备.pdf

    本发明涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种半导体生产用晶圆智能生产设备，包括工作台，所述工作台的内部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有转动盘，所述转动盘的顶端固定安装有真空吸盘装置，所述真空吸盘装置的顶端设置有晶圆本体，所述工作台位于所述晶圆本体的两侧设置有夹持机构，所述工作台的内部设置有清洗机构，所述工作台的顶端固定安装有固定架，所述固定架的一侧设置有清理机构，所述固定架的内部顶端设置有打磨轮。本发明所述的一种半导体生产用晶圆智能生产设备，结构简单，使用方便，连接性强，方便对晶

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117620805A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311470128.X

    (22)申请日2023.11.05

    (71)申请人四川省珏源祥半导体技术有限公司

    地

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