T∕CIECCPA 007-2024 半导体工业氮氧化物排放要求.pdf

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ICS13.040.40

ccsz05

团体标

准

T/CIECCPA007-2024

半导体工业氮氧化物排放要求

SemiconductorIndustryNitrogenOxideEmissionRequirements

2024-03-04发布2024-03-08实施

2；主注＝

中国工业节能与生产协会发布

J同JI司

T/CIECCPA007-2024

目；欠

前言..……....”··”.…....。”··”.…....”··”…......”.…...11

I范围…”··………”··………”…”··………I

2规范性引用文件”…“…”…“…”…“…”…“…I

3术语和定义”··“…·…··”··“”….”…....I

4氮氧化物排放限值..………......…..…………2

5絮l筑化物排直立限｛良!e.习z适用范囤””…”………2

6氮氧化物检测要求……”…...……”…...……3

附录A单一排气钩的排放速率计算方法．．．•••……….4

附录B氮氧化物推荐处理＇／jf,R…...…..…...…·”…….…....。”…….……...5

附录C现行地方氮氛化物排放限值与%i测标准..…..”……..……··．．．”…”.…....。”…7

图BI氧化还原吸收法流程图

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