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基于承载量可调节的半导体精密零部件清洗装置.pdfVIP

基于承载量可调节的半导体精密零部件清洗装置.pdf

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    本发明涉及半导体清洗设备领域，具体地说，涉及基于承载量可调节的半导体精密零部件清洗装置，其包括：清洗室、转动装置、齿轮组件、转动组件、清洗装置、斜齿轮组件和弧形喷头，所述清洗室内设置有用于对放置半导体精密零部件的转动装置，所述转动装置内设置有用于半导体精密零部件转动的转动组件，所述转动装置内设置有用于调节半导体精密部件位置的齿轮组件，所述清洗室内设置有用于半导体精密零部件清洗的清洗装置，本发明通过所述转动组件的转动，利用所述齿轮组件完成对半导体精密部件的转向调节，并通过所述清洗装置完成对半导体精

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117672915A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202311638072.4

    (22)申请日2023.12.02

    (71)申请人苏州柏越纳米科技有限公司

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