用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法.pdfVIP

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2024-03-09 发布于四川
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用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法.pdf

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本发明涉及工业装备领域。本发明提供一种用于蚀刻小尺寸元件的蚀刻设备及蚀刻方法，蚀刻设备包括传动组件和喷液装置，所述传动组件将代加工元件传动经过加工区，所述传动组件具有丝网作为支持面，所述喷液装置具有布设在所述传动组件的支持面上下两侧的上喷头组和下喷头组，还包括治具，所述治具为丝网，丝网的网孔尺寸小于所述小尺寸元件的尺寸。本发明还涉及蚀刻方法。采用本发明的蚀刻设备、治具或者方法，不仅可以从上、下两面对一个材料进行蚀刻，而且非常有利于蚀刻后的小尺寸产品的传输，不会出现材料的滑移和掉落。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117660962A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202410131682.3

(22)申请日2024.01.31

(71)申请人大连保税区金宝至电子有限公司

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