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本发明提供一种大尺度、大滑移行程并且有良好一致性和可靠性的结构超滑器件及其制备方法，所述超滑结构包括基底和多个超滑片，所述多个超滑片连接在所述基底上，所述连接使得所述超滑片的超滑面距基底表面的高度可调节。所述制备方法包括将所述超滑片转移至带有弹性连接材料的所述基底上，通过所述弹性连接材料将所述多个超滑片连接到所述基底上，通过高度调整部件调节所需高度后固化所述弹性连接材料，或者在所述基底上设置通孔，在所述多个超滑片上分别设置连接部件，连接部件对齐所述通孔，通过高度调整部件调整所述高度后将超滑片固定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111747371A
(43)申请公布日2020.10.09
(21)申请号201910233562.3
(22)申请日2019.03.26
(71)申请人深圳清力技术有限公司
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