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本公开提供了一种晶圆提升装置、晶圆干燥设备及晶圆提升方法，该装置包括：动力组件；底部顶升组件，用于承托晶圆的下侧沿竖直方向向上顶升晶圆，底部顶升组件包括第一顶升单元和第二顶升单元，第一顶升单元和第二顶升单元在动力组件的驱动下彼此独立地升降；顶部运送组件，用于当晶圆被顶升至第一位置时与底部顶升组件配合夹持晶圆、并向上运送晶圆，顶部运送组件受动力组件的驱动与底部顶升组件沿竖直方向同步升降；控制组件，用于基于预定控制策略，分时控制第一顶升单元、第二顶升单元及顶部运送组件接入动力组件的动力源进行升降动作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117658005A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311632695.0
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人西安奕斯伟材料科
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