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本实用新型提供一种激光盒、平面光栅测量系统及光刻机，涉及半导体制造设备的技术领域。该激光盒，能够设置于工件台，包括盒体以及均设置于盒体内的单频激光器和光电转换模块，前者用于产生并发射激光，后者用于接收并处理通过传感器之后的测量光信号。该激光盒中，单频激光器为零差测量，所以测量结果的非线性误差小，而且不包含移频模块等，所以结构简单，从而便于使激光盒小型化，便于将激光盒设置于工件台，进而能够节省工件台外的空间，以布置其他零部件；此外，该激光盒结构布置紧凑，单频激光器发射出的激光经传感器后传输至光电转
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220568153U
(45)授权公告日2024.03.08
(21)申请号202322236347.3
(22)申请日2023.08.18
(73)专利权人北京华卓精科科技股份有限公司
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