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本发明公开了一种自适应干涉装置及其检测方法，属于光学测量技术领域，设计了一种自适应干涉装置，采用变形镜取代了补偿器降低了干涉仪的检测成本；引入偏振分光棱镜和可变波片双倍利用了变形镜对波像差的调控范围；采用数字微镜器件形成大小虚拟针孔实现了变形镜全域差动共焦显微测量；并提出一种自适应干涉检测方法，通过引入变形镜实现了自适应干涉，通过引入激光光源和数字微镜器件实现变形镜的高精度、快速标定；本发明将自适应干涉技术、差动共焦显微技术、偏振分光棱镜、可变波片和数字微镜器件进行结合，形成了适合自由曲面面形检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117663978A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311629598.6G01B11/245(2006.01)
(22)申请日2023.11
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