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- 2024-03-09 发布于四川
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本发明提供了一种衍射光波导及其制备方法以及AR显示设备，通过在利用图形化的硬掩模层定义出耦入光栅区图形与耦出光栅区图形的基础上，基于光栅压印模板对液态聚合物抗蚀剂进行纳米压印，利用压印并固化后的图形化的聚合物抗蚀剂以及图形化的硬掩模层，可一次刻蚀形成耦入光栅区和耦出光栅区，从而实现了耦入光栅区和耦出光栅区的一体化成形，有效地保证了耦入光栅区和耦出光栅区的相对位置精度，进而有利于进一步提升AR设备的显示效果。同时，由于光栅压印模板的第二图形区域设置有不等深度的凹槽，从而可实现通过一次刻蚀即可在耦出
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117666280A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211055043.0G02B5/18(2006.01)
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