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本发明提供一种基于时频分析的半球谐振子表面形貌特征提取与评价方法,涉及超精密加工技术领域,为解决现有技术无法针对特定缺陷进行影响因素分析,同时无法确定不同因素对缺陷影响的大小的问题。本发明采用小波基函数对半球谐振子表面形貌信号进行小波分解,对于信号的不同频率部分,改变尺度值,在时间轴上对信号进行压缩和伸展,获取信号的不同频率成分,得到一系列的小波系数,利用小波系数和小波基函数对信号进行重构,得到多尺度二维小波重构信号,进一步获取半球谐振子表面形貌的典型频率特征,对各信号影响半球谐振子表面形貌的贡
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117668530A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311673047.XG06F18/241(2023.01)
(22)申请日2023.12
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