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2024-03-09 发布于四川
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一种抛光方法可调式高效抛光装置.pdf

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本发明涉及一种抛光方法可调式高效抛光装置，力加载装置模块设置在整个装置最上方，椭圆超声振动模块设置在力加载装置模块下方，其超声波换能器连接外界超声波发生器，通过两个超声波变幅杆上下移动，合成为一个二维椭圆运动轨迹，进而使铜制连接片获得椭圆超声波轨迹，从而适应不同工件的不同平面位置抛光；外接电场模块设置在椭圆超声振动模块下方；抛光装置模块置于整个装置最下方，为整个装置提供抛光时所需要的动力。该装置由于具有阵列式可摆动抛光头，所以可进行批量加工，且可以根据工件所需的加工条件，更换研抛盘上所需的抛光垫

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117655890A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202311507886.4C09G1/02(2006.01)

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